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B体育机械设备行业深度研究:国产ALD设备先锋进口替代正逢其时!

  B体育微导纳米深耕薄膜沉积设备领域,以ALD技术为核心不断实现技术突破。公司率先将ALD应用于光伏领域,产品矩阵包括ALD设备与PECVD设备,覆盖多家龙头电池片厂商,交付的无锡尚德整线%。半导体领域,公司研制出的高k栅氧层ALD设备已实现销售B体育,取得28nm节点中国产ALD设备技术突破B体育。公司三年营收增速皆超30%,ALD设备凭借技术壁垒实现高毛利,手握19.75亿元在手订单,助力业绩稳攀高峰。

  综合比较PVD/RPD/CVD/ALD四大技术路径,物理沉积与化学沉积的主要区别在于:化学沉积的致密性与均匀性更优,精细度高,更适合沉积复杂结构;物理沉积适合平面结构,镀要求较低的膜层。ALD在超薄与复杂结构中体现不可替代性:

  光伏:技术路径的选择最终归于平衡降本增效,ALD在超薄膜层如鱼得水,如TOPCon电池中的氧化铝钝化层与隧穿氧化层。

  半导体:制程缩小趋势下,ALD必不可少。在制程进入28nm后,器件结构不断缩小且更为立体化,CVD与PVD难以胜任。

  3)光伏领域:高效电池未来已来B体育,公司设备有望乘风而起N型技术转化效率极限高,综合性能优,下游扩产潮打开设备市场增长空间。对公司产品线所在市场进行测算,预计23年市场空间可突破百亿元。

  TOPCon电池:与PERC相比,公司设备价值量在TOPCon产线建设的投资比重上升至约36%。TOPCon领域国产ALD设备企业稀少,公司市占率高达70%,根据披露的销售合同推算2022年新签设备订单12亿元。

  HJT/钙钛矿电池:PECVD设备在HJT产线%,ALD在HJT和钙钛矿电池领域有望扩展应用。

  4)半导体领域:国产ALD拓荒者,期待拓展多样应用半导体ALD设备国产化率低,公司设备性能比肩国际同类厂商B体育,有望实现国产替代,设备需求或迎来放量,预计23年ALD设备需求有望突破10亿。

  逻辑芯片:高K材料ALD设备国产破局者,打破国外技术垄断;ALD在FinFET亦有应用。

  存储芯片:新型存储器发展迅猛B体育,公司ALD设备已应用于FeRAM电容介质层;传统存储器中由2D到3DNANDFlash堆叠层数增长,拉动ALD设备需求。

  风险提示:市场需求下滑风险;新产品开发风险;产品验证与交付进度不及预期;产品毛利率波动风险;测算存在主观性,仅供参考。