机械设备行业分子泵：高真空领域应用设备助力中国B体育高端制造崛起（华福证券研报）

　　B体育高真空设备，助力科研、工业发展。分子泵作为一种高真空设备，其核心原理是利用分子运动，通过吸附、扩散和排气的过程，将气体分子从真空腔体中排出，以达到极低的气体压力和高纯度的环境B体育。自1912年以来，分子泵经历了四个时期，并在20世纪末逐步实现产业化进程。我国分子泵最早主要依赖进口，20世纪60年代，中科科仪开始研制本土分子泵，2011年成功填补国内市场空白，当前已成为国内最大的供应商之一。从产品结构来看，分子泵以轴承特性或转子结构分类，其中：1）按照轴承特性：分为油润滑、脂润滑、磁悬浮。其中，磁悬浮分子泵基于“无基础、无摩擦”等特点，具有较大发展潜力。2）按照转子结构，分为牵引式、涡轮式、复合式。

　　市场规模稳步增长，半导体为核心下游应用B体育。2023年，全球涡轮/磁悬浮分子泵市场规模分别为14/3.9亿美元（约合人民币100.4/27.9亿元），预计2030年可达20.8/6.1美元（约合人民币149.5/43.9亿元）。国内方面，2017-2020年，我国分子泵市场规模从10亿元增长至13.4亿元，CAGR 10.2%；预计2026年有望突破31亿元。从下游产业角度来看，分子泵广泛应用于科学研究、半导体制造、航天航空等对于高真空和超高真空度要求较高的领域。其中，2022年半导体设备分子泵市场规模为42.9亿元，未来有望以9.78%的复合增速增长，至2028年突破74.8亿元。

　　海外厂商占据优势，国产厂商逐步崛起。从竞争格局来看，全球分子泵市场的CR5份额超过50%，主要竞争者包括普发Pfeiffer、岛津Shimadzu、荏原Ebara、爱德华Edwards和莱宝Leybold。中国市场方面，随着我国制造业的快速发展，中科科仪、世纪玖泰B体育、四海祥云、飞旋科技等本土品牌逐渐崭露头角。其中，中科科仪已成功追赶海外头部厂家，跻身第一梯队。2020年，中科科仪分子泵销售量/销售额在我国工业市场位居首位B体育，占比35.7%/28.6%，实现国产替代的重要突破。未来随着我国半导体行业的发展，分子泵高端应用场景仍有较大提升潜力。

　　投资建议：建议关注分子泵本土市占率第一企业中科科仪（未上市）；节能环保磁悬浮分子泵龙头飞旋科技（未上市）；技术同源真空泵领先企业汉钟精机。

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